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光伏行业PECVD镀膜设备射频电源功率升级服务

 



    光伏行业电池工艺更新换代日新月异，近期工艺方向逐渐由166转为182，由于工艺路线变化，原有的15KW射频电源已满足不了工艺时间的要求，需要将射频电源功率由15KW升级为20-40KW,改造后工艺镀膜时间与特气使用量均可降低，目前在光伏行业均有成功案例。目前成功改造的电源品牌有：AE,霍廷格以及国产电源品牌。